میگنیٹران سپٹرنگ پروسیس پیرامیٹرز کا اثر -N2 بہاؤ کی شرح

magnetron sputtering کے عمل کے پیرامیٹرز کا اثر -N2 بہاؤ کی شرح

کیمیائی ساخت، مائیکرو اسٹرکچر اور (Cr,Ti,Al) N کواٹرنری کوٹنگ کی مختلف خصوصیات کو N2 بہاؤ کی شرح کو تبدیل کرکے ایڈجسٹ کیا جا سکتا ہے۔ محققین نے پایا کہ N2 کے بہاؤ میں اضافے کے ساتھ، (Cr,Ti,Al) N کوٹنگ کے N مواد اور نائٹرائڈ ہارڈ فیز مواد میں بھی اضافہ ہوگا، اور سختی، لچکدار ماڈیولس، بیئرنگ کی صلاحیت اور فلم بیس بائنڈنگ فورس اس کے مطابق کوٹنگ بھی بڑھے گی، جو سطح کی کھردری، رگڑ کے عنصر اور کوٹنگ کے پہننے کی شرح کو مؤثر طریقے سے کم کر سکتی ہے۔ کوٹنگ [57-58] کی پہننے کی مزاحمت کو نمایاں طور پر بہتر کریں۔ تاہم، N2 کے بہاؤ میں مزید اضافے کے ساتھ، اسپٹرنگ پریشر میں اضافہ ہوتا ہے، آئنوں کا اوسط آزاد راستہ کم ہوتا ہے، اور آئنوں کی توانائی کا نقصان بڑھ جاتا ہے، جو کوٹنگ کے کرسٹلائزیشن کے معیار اور فلم کی تشکیل کے ڈھانچے کو متاثر کرے گا، جس کے نتیجے میں کوٹنگ میں کمی واقع ہوتی ہے۔ کوٹنگ کی سختی [59]۔ محققین نے یہ بھی پایا کہ N2 بہاؤ میں اضافے کے ساتھ، (Cr,Ti,Al) N کواٹرنری کوٹنگز کے جمع ہونے کی شرح میں پہلے بڑھنے اور پھر کم ہونے کا رجحان ظاہر ہوا [60]۔ اس کی وجہ یہ ہے کہ N2 کے بہاؤ کی شرح کو بڑھانے سے N2 کے ساتھ ہدف کے ذرات کے رد عمل کی ڈگری بڑھ جائے گی، اور اس طرح کوٹنگ کے جمع ہونے کی شرح میں اضافہ ہوگا۔ تاہم، N2 بہاؤ کی شرح میں اضافے سے پھوٹنے والے دباؤ میں بھی اضافہ ہوگا، اور پارٹیکل بیم کے بکھرنے والے اثر (بشمول ہدف پر بمباری کرنے والے ذرات اور فلم بنانے والی سطح پر جمع ہونے والے ذرات) میں اضافہ ہوگا، جس کے نتیجے میں ان کی تعداد میں کمی واقع ہوگی۔ جمع شدہ ذرات سبسٹریٹ کی سطح پر فی یونٹ وقت تک پہنچتے ہیں، لہذا کوٹنگ جمع کرنے کی شرح بھی نیچے کی طرف رجحان دکھائے گی۔ اس کے علاوہ، بہت زیادہ N2 جزوی دباؤ ہدف کی سطح پر مزید نائٹرائیڈ کے مراحل کی تشکیل کا باعث بنے گا، جو ہدف کے زہر کی ڈگری کو بڑھا دے گا، جو کوٹنگ کے جمع ہونے کی شرح کو بھی متاثر کرے گا۔

آئی کے ایس پی وی ڈی کمپنی، آرائشی کوٹنگ مشین، ٹولز کوٹنگ مشین، ڈی ایل سی کوٹنگ مشین، آپٹیکل کوٹنگ مشین، پی وی ڈی ویکیوم کوٹنگ لائن، ٹرن-کی پروجیکٹ دستیاب ہے۔ ابھی ہم سے رابطہ کریں، ای میل: iks.pvd@foxmail.com