منفی تعصب کا ساخت اور کثیر قوس آئن پلاٹنگ ٹین فلموں کی اطہر کی شرح پر اثر

جب کثیر قوس آئن کوٹنگ سامان ٹین پتلی فلم دیگر پیرامیٹر کے ساتھ پالش ہائی اسپیڈ اسٹیل کی سطح پر جمع کرنے کا استعمال کرتے ہوئے کوئی تبدیلی نہیں، تعصب کے باعث وولٹیج کا اثر اطہر کی شرح کا پتلی فلم کی تحقیقات کی گئیں ۔ تجرباتی نتائج منفی تعصب کی بڑھتی ہوئی، اطہر کی شرح مسلسل بڑھاتا ہے بلکہ ایک خاص قدر پہنچ کر منفی تعصب کے بعد، اطہر شرح تعصب کے باعث وولٹیج کے اضافے کے ساتھ کم کرتا ہے کہ دکھایا ۔

اس اعلی سختی، کم رگڑ عددی سر، اچھا کیمیائی بیکاری، منفرد رنگ اور اچھی باوکومپیٹابلاٹی کی وجہ سے، ٹین فلمیں بڑے پیمانے پر میکینکل، پلاسٹک، ٹیکسٹائل، طبی صنعت، ماکرویلیکٹروناکس اور دیگر صنعتوں میں استعمال کیا جاتا ہے ۔ یہ سب سے زیادہ وسیع پیمانے پر استعمال پتلی فلم کے مواد کے صنعتی تحقیق اور اب ایپلی کیشن میں بن چکی ہے ۔ ٹین کلپس پلاٹنگ جس کثیر قوس آئن کے درمیان ہے، سب سے بڑے پیمانے پر استعمال کی ٹیکنالوجی کی صنعت میں سے ایک آج تیاری کے لیے بہت سے طریقے ہیں. یہ ٹیکنالوجی 60 ء کی دہائی میں شروع ہوا اور تیزی سے اس کے بعد سے تیار کیا گیا ہے ۔ کثیر قوس آئن جمع کرائی پتلی فلم کی بہت سے فوائد جیسے مضبوط فلم بیس چپک، فلم پرت، مواد ہے کہ چڑھایا جا سکتا ہے کی وسیع رینج، اچھا کوٹنگ کے ارد گرد اور کم اطہر درجہ حرارت کے اعلی کثافت ہے. تاہم بہت سے عوامل کی کوٹنگ کے عمل کے دوران فلم کے معیار پر اثر انداز ہوتے ہیں ۔ ملکی اور بین الاقوامی مطالعے کثیر قوس آئن پلاٹنگ کو متاثر کرنے والے اہم عمل پیرا میٹر برقیات کے موجودہ ہدف، ردعمل گیس پریشر، سبسٹراٹی منفی تعصب، نائٹروجن جزوی دباؤ اور سبسٹراٹی اطہر درجہ حرارت ہیں کہ دکھایا گیا ہے ۔

اس مقالے میں ہم بنیادی طور پر منفی تعصب کا اثر اطہر کی شرح پر پڑھتے ہیں ۔ سوبسٹراٹی منفی یک طرفہ ہے جب او پلازما میں منفی تعصب کے باعث برقی میدان کی طرف سے کے لئے سبسٹراٹی تیز ہو جائے گا ۔ جب سبسٹراٹی کی سطح تک پہنچنے، او سبسٹراٹی گولا باری اور سبسٹراٹی کو جس کا درجہ حرارت کے اضافے کے لئے سبسٹراٹی باعث، برقی میدان سے حاصل توانائی منتقل ۔ لہٰذا، سبسٹراٹی منفی تعصب کے باعث وولٹیج اطہر کی شرح، فلم اور سبسٹراٹی نے فراکشنال خواص کی جھلی/بنیاد کوٹنگ کے عمل میں فوج واجب التعمیل اندرونی باقیماندہ کشیدگی، پر گہرا اثر ہے ۔ جمع او کی توانائی اور کوٹنگ کے معیار کو کنٹرول کرنے کے لئے سبسٹراٹی سطح کے درجہ حرارت منفی تعصب سبسٹراٹی کے بدلتے ہوئے ایڈجسٹ کر سکتے ہیں ۔ کی ساخت پر منفی تعصب کے اثر اور کثیر قوس آئن تین پلاٹانگ کی خصوصیات کا مطالعہ کیا اطلاع اور کیا گیا ہے ۔ تاہم، منفی تعصب کا اثر اطہر کی شرح پتلی فلموں کا شاذ و نادر ہی اطلاع ہے ۔ یہ مضمون منفی تعصب کا اثر و رسوخ کی فلم اطہر شرح تعلیم حاصل کرنے کا ارادہ رکھتا ہے ۔

1 ۔ تجرباتی طریقہ

پالش ہائی اسپیڈ سٹیل بیس مواد کے طور پر استعمال کیا جاتا ہے ۔ نمونہ الٹراسناکالل 20 منٹ کے لئے مطلق ایتھانولی کے ساتھ دھویا تھا اور پھر سبسٹراٹی کی سطح مطلق ایتھانولی اور acetone حل کے ساتھ مسح تھا پھر خشک، اور بار بار یہ فاصلہ کثیر قوس آئن کوٹنگ سسٹم کے بیس فریم پر رکھا ہدف اور سبسٹراٹی کے درمیان 250 ملی میٹر ہے ۔ جب ویکیوم چیمبر تھا پمپ لایا 2.6 × 10 ایک پس منظر خلا کی −3 Pa، ارگون گیس الزام عائد کیا گیا 5 Pa ~ 10 پی اے اور ایک منفی تعصب کے باعث وولٹیج 500 V کی وارکپیسی کے لیے لگایا گیا ہے ۔ ارگون او وورکپیکا گولا باری کے بعد ایک لیوینڈر پلازما چمک کم وولٹیج پانى کے نیچے اور ایک برقی میدان کے عمل کے تحت فارم کو برقرار رکھنے سے 3 منٹ، 2 منٹ کے لئے وولٹیج 900 وی ارگون گیس کو جلایا گیا، ۔ چمک کے دھونے کے بعد، گیس ارگون تقریبا 2 کو کم کر دیا ہے پا، ایک منفی تعصب کے باعث وولٹیج 900 V وارکپیسی کے لئے لگائی گئی ہے اور دی ہدف پرجولت ہے، پھر سبسٹراٹی و دھاتی او کے ساتھ بمباری ہے ۔ کی صفائی کے بعد، منفی تعصب کے باعث وولٹاگاس 0 V،-50 V،-100 V،-150 V،-200 V، اور-250 V کو بالترتیب ایڈجسٹ تھے ۔ اور ٹین فلموں میں جمع کیے گئے ہیں ۔ اس کی کوٹنگ عمل، قوس وولٹیج U کے دوران 20 V، حالیہ قوس = میں 65 ایک اور اطہر کے وقت = 30 منٹ ایکسرے diffraction فلم کی ساخت کے مرحلے کا تجزیہ کرنے کے لئے استعمال کیا گیا تھا ۔ کی کوٹنگ کی دی گئی اس برقی سراغیہ خردبینی کی طرف سے کا تجزیہ کرتا تھا ۔ فلم موٹائی ایک ایکس پی-2 پروفالر کا استعمال کرتے ہوئے ناپا جاتا تھا ۔ اطہر شرح پھر بنیاد نپی تلی کی موٹائی اور اطہر وقت پر حساب کیا جاتا تھا ۔

2 ۔ نتائج اور تجزیے

2.1 ۔ فیز کی ساخت مختلف تعصبات کے تحت فلم

Figure.1 فلم کے ایکسرے diffraction اسلوب کو ظاہر کرتا ہے ۔ تجزیہ ہے کہ فلم کے فیز ساخت ٹین فیز نمایش کرتا ہے ۔ جب کوئی تعصب کا اطلاق ہوتا ہے، TiN(200) کے لئے متعلقہ diffraction کی چوٹیوں اور (220) کرسٹل ہوائی جہازوں کا مشاہدہ کیا جا سکتا، بلکہ (111) diffraction چوٹی تقریباً صفر ہے ۔ اس لائن میں مضبوط ترین چوٹی فلم موٹائی کو چھوٹا ہے اور ایکس ریز سبسٹراٹی penetrated ہے ظاہر ہوتا ہے کہ بیس Fe(111) سے، ہے ۔ تعصب کے باعث وولٹیج کی بڑھتی ہوئی، کے ساتھ (111) کرسٹل سمت بندی ظاہر کرنا ہوتا ہے، اور سمت بندی میں نسبتاً کمزور ہو چکی ہے (200) کو ترجیح دی ۔ تعصب کے باعث وولٹیج 200 V پہنچی تو ایک مضبوط (111) ترجیح ٹین فلم دکھاتی ہے ۔ ہم Fe(111) چوٹی آہستہ آہستہ تعصب کے باعث وولٹیج اضافہ کے طور پر، جو ظاہر کرتا ہے فلم موٹائی کو آہستہ آہستہ بڑا ہو جاتا ہے کہ دليلوں دیکھتے ہیں ۔

Fig. 1 ا diffraction پیٹرن ٹین فلموں کے تحت مختلف تعصب کے باعث وولٹاگاس حاصل کی

2.2 ۔ سطح مورفالوجی کوٹنگ

Fig. 2 سطح مورفالوجی ٹین کی کوٹنگ کی

پلاٹنگ کوٹنگ کثیر قوس آئن میں، سطح پر منتشر-ذرات ہیں ۔ یہ عام طور پر ہدف ہے مقامی قوس کے اعلی درجہ حرارت کے تحت بہت چھوٹا سا قطرہ میں پگھلا نکال دی اور پھر ٹھوس ذرات کی شکل میں سطح کوٹنگ کے لئے شرمندگی کہ خیال کیا جاتا ہے ۔ ان ڈومینز کی سخت دلی کہ ٹین فلم کی نسبت کم ہے ۔ ان نرم دھبوں لیپت آلے کی کارکردگی کے لیے نقصان دہ ہیں اور آلے کی سطح تکمیل بھی کم ہے ۔ یہ ٹین کی کوٹنگ کی سطح کے ذرات عام طور پر 1 μm 2 μm کرنے کی حد اطلاق میں ہیں کہ الیکٹرون خردبینی سکین کر رہا ہے کی طرف سے مشاہدہ کیا جا سکتا، اور 5 μm تک ذرات کی تعداد کم ہے ۔